兩英寸真空高低溫探針臺
產品別名 |
真空探針臺,晶圓探針臺,探針臺,高低溫探針臺 |
面向地區 |
全國 |
品牌 |
鄭科探 |
類型 |
兩英寸高低溫真空探針臺 |
探針臺 一：產品參數
1．產品名稱：真空探針臺
2．產品型號：KT-Z1604T-RL
3．產品品牌：鄭科探 Zhengketan
4．生產廠家：鄭州科探儀器設備有限公司
真空探針臺 二：功能要求
KT-Z160T-RL該探針臺的承載臺為60x60不銹鋼臺面，臺面高可升溫到高400℃。低溫-190°C。真空腔體設計有進氣口和抽真空接口。探針臂為X/Y/Z三軸移動，三個方向均可在真空環境下精密移位調節，其中X方向調節范圍：0－30mm；y方向調節范圍：0－20mm；z方向調節范圍：0－20mm；用戶可根據需要自行調節。使用時將需檢測的器件固定在加熱臺上，再微調探針支架X/Y/Z 方向行程，通過顯微鏡觀察，使探針對準檢測點后，即可進行檢測。
高低溫測試 三：主要技術要求
1．腔體材質：304不銹鋼
2．上蓋開啟：鉸鏈側開
3．加熱臺材質：304不銹鋼
4．內腔體尺寸：φ160x90mm
5．觀察窗尺寸：Φ70mm
6．加熱臺尺寸：φ55×55mm
7．觀察窗熱臺間距：75mm
8．加熱臺溫度： -190-400℃
9．加熱臺溫控誤差： ±1℃
10．真空度： 機械泵≤10Pa?? 分子泵≤10-3Pa
11．允許正壓： ≤0.1MPa
12．真空抽氣口： KF25真空法蘭
13．氣體進氣口： 3mm-6mm卡套接頭
14．電信號接頭： SMA轉BNC X 4
15．電學性能： 絕緣電阻 ≥4000MΩ?? 介質耐壓 ≤500V 漏電流 ≤-10次方安培
16．探針數量： 4探針
17．探針材質： 鍍金鎢針
18．探針尖： 10μm
19．X軸移動行程： 30mm????±15mm
20．X軸控制精度：≤0.01mm
21．Y軸移動行程：13mm????±12.5mm
22．Y軸控制精度：≤0.01mm
23．Z軸移動行程：13mm????±12.5mm
24．Z軸控制精度：≤0.01mm
25．顯微鏡類別：物鏡
26．物鏡倍數：0.7-4.5倍
27．工作間距：90mm
28．相機：sony?高清
29．像素：1920※1080像素
30．圖像接口：VGA
31．LED可調光源：有
32．顯示屏：8寸
33．放大倍數：19-135倍,視場范圍15×13-2.25×1.7mm，小可分辨0.08mm
半導體測試 四：主要配置
1．1臺 · 真空探針臺KT-Z1604T-RL
2．1臺 · 工業CCD
3. 1臺 · 真空泵-8
4. 1個 · PG800真空計
5. 1臺 · 液氮泵
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