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光刻膠 |
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DisCharge 是一種抗電荷媒體, 用于電子束光蝕刻工序. 它可以防止電荷積聚于絕緣的基材上, 并有IPA() 及水基配方, 可達到佳的光刻膠兼容效果. 也可用于SEM測量的非破壞性導電媒體.
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