掌上真空探針臺，一體式不銹鋼腔體，手動調節探針，正面留有觀察窗，反面留有透光孔。高低溫配置
KT-Z4019MRL4T是一款便攜式探針臺，結構小巧，功能使用，成本較低，可以滿足基本實驗的要求。特別之處在于顯微鏡和探針臺采用分體結構，使得探針部分能從整個探針臺系統中立出來，可以應用于輻照實驗中，該探針臺也可放置高低溫箱中，用于芯片的三溫測試。多探針結構可實現多路測試。配合接地良好的鋁制屏蔽盒，增加了抗干,擾,能力，其測試數據更加準確。

掌上真空探針臺KT-Z4019MRL4T
真空腔體
類型 高溫型室溫到350℃ 高低溫型 室溫到350℃ 室溫到-196℃
腔體材質 304不銹鋼 6061鋁合金 可選
腔體內尺寸 127mmX57mmX20mm
腔體外尺寸 150mmX80mmX32mm
腔體重量 不銹鋼材質 約1.5KG 鋁合金材質 約0.5KG
腔體上視窗尺寸 Φ42mm（可選配凹視窗用于減少窗口和樣品之間距離）
腔體抽氣口 KF16法蘭（其余接口規格可轉接）
腔體真空測量口 KF16法蘭（其余接口規格可轉接）
腔體進氣口 6mm快擰 或 6mm快插
腔體冷卻方式 腔體水冷+上蓋氣冷
腔體水冷接口
腔體正壓 ≤0.05MPa
腔體真空度 機械泵≤5Pa （5分鐘） 分子泵≤5E-3Pa（30分鐘）
樣品臺
樣品臺材質 不銹鋼 銀銅合金 純銀塊 銀銅合金 純銀塊
樣品臺尺寸 26x26mm
樣品臺加熱方式 電阻加熱 電阻加熱 液氮制冷
樣品臺-視窗 距離 11mm（可選配凹視窗用于減少窗口和樣品之間距離到6mm）
樣品臺測溫傳感器 PT100型熱電阻
樣品臺溫度 室溫到400℃ 室溫到400℃ 室溫到-196℃
樣品臺測溫誤差 ±0.5℃
樣品臺升溫速率 高溫100℃/min 低溫7℃/min
溫控儀
溫度顯示 7寸人機界面
溫控類型 標準PID溫控 +自整定
溫度分辨率 0.1℃
溫控精度 ±0.5℃
溫度信號輸入類型 PT100 （可選K S B型熱電偶）
溫控輸出 直流線性電源加熱 直流線性電源加熱+液氮流速控制器
輔助功能 溫度數據采集并導出 實時溫度曲線+歷史溫度曲線 可擴展真空讀數接口
溫控器尺寸 32cmX170cmX380cm
溫控器重量 約5.6KG
探針
電信號接頭 配線轉接 BNC接頭 BNC三同軸接頭 SMA 接頭 香蕉插頭 線長1.2米
電學性能 絕緣電阻 ≥4000MΩ 介質耐壓 ≤200V 電流噪聲 ≤10pA
探針數量 4探針（可擴展5探針）
探針材質 鍍金鎢針 （其他材質可選）
探針尖 10μm
手動探針移動平臺
X軸移動行程 20mm ±10mm（需手動推動滑臺）
X軸控制精度 ≥500μm
R軸移動行程 120° ±60°（需手動旋轉探針桿）
R軸控制精度 ≥500μm
Z軸移動行程 2mm ±1mm
Z軸控制精度 ≤50μm（需手動螺紋調節探針桿）

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