該技術的主要特征為：利用低能X光激發待測元素，對Si、S、Al、Na、Mg等輕元素有良好的激發效果，并且測試時間短，大大提高了檢測效率和工作效率：采用UHRD探測器，具有良好的能量線性和能量分辨率，及良好的能譜特性，較高的峰背比；采用自動穩譜裝置，了儀器工作的一致性：利用解譜技術使譜峰分解，使采用UHRD探測器的分析儀對Si、S、AI等輕元素的測試具有好的分析精度；采用多參數的線性回歸方法，使元素間的吸收、排斥效應得到明顯的降低。
性能特點
的水泥、鋼鐵、礦料等全元素分析，亦可用于鍍層檢測和RoHS檢測。

X熒光光譜儀（XRF）由激發源（X射線管）和探測系統構成。X射線管產生入射X射線（一次X射線），激發被測樣品，產生X熒光（二次X射線），探測器對X熒光進行檢測。
受激發的樣品中的每一種元素會放射出二次X射線，并且不同的元素所放射出的二次X射線具有特定的能量特性或波長特性。探測系統測量這些放射出來的二次X射線的能量及數量。然后，儀器軟件將探測系統所收集到的信息轉換成樣品中各種元素的種類及含量。
元素的原子受到高能輻射激發而引起內層電子的躍遷，同時發射出具有一定性波長的X射線，根據莫斯萊定律，熒光X射線的波長λ與元素的原子序數Z有關，其數學關系如下：
λ=K(Z? s) ?2
式中K和S是常數。
而根據量子理論，X射線可以看成由一種量子或光子組成的粒子流，每個光具有的能量為：
E=hν=h C/λ
式中，E為X射線光子的能量，單位為keV；h為普朗克常數；ν為光波的頻率；C為光速。
因此,只要測出熒光X射線的波長或者能量,就可以知道元素的種類，這就是熒光X射線定性分析的基礎。此外,熒光X射線的強度與相應元素的含量有一定的關系，據此，可以進行元素定量分析。

X熒光光譜儀分析方法是一個相對分析方法，任何制樣過程和步驟有非常好的重復操作可能性，所以用于制作標準曲線的標準樣品和分析樣品經過同樣的制樣處理過程。X 射線熒光實際上又是一個表面分析方法，激發只發生在試樣的淺表面，注意分析面相對于整個樣品是否有代表性。此外，樣品的平均粒度和粒度分布是否有變化，樣品中是否存在不均勻的多孔狀態等。樣品制備過程由于經過多步驟操作，還防止樣品的損失和沾污。