技術指標高靈敏度探測器（分辨率達149Ev），精密的放大電路，
提高Cd、Pb元素的靈度。
檢出下限(Cd/Pd)：Cd/Cr/Hg/Br≦2ppm,Pb≦5ppm
樣品形狀：任意大小，任意不規則形狀
樣品類型：塑膠/金屬/薄膜/粉末/液體
小樣品腔尺寸：300×300×100mm
大樣品腔尺寸：樣品尺寸不受限制
X射線管：靶材/Mo管電壓/5～50kV管電流/1～1000μA
照射直徑：2、5、8mm
探測器：Si(PIN)半導體高靈敏度探測器
濾光片：八種新型濾光片自動選擇
樣品定位：微動載物平臺（選配）
樣品觀察：130萬分辨率彩色CCD攝像機
微區分析：X光聚焦微區分析系統（選配）軟件
定量分析：理論Alpha

X熒光光譜儀（XRF）由激發源（X射線管）和探測系統構成。X射線管產生入射X射線（一次X射線），激發被測樣品，產生X熒光（二次X射線），探測器對X熒光進行檢測。
受激發的樣品中的每一種元素會放射出二次X射線，并且不同的元素所放射出的二次X射線具有特定的能量特性或波長特性。探測系統測量這些放射出來的二次X射線的能量及數量。然后，儀器軟件將探測系統所收集到的信息轉換成樣品中各種元素的種類及含量。
元素的原子受到高能輻射激發而引起內層電子的躍遷，同時發射出具有一定性波長的X射線，根據莫斯萊定律，熒光X射線的波長λ與元素的原子序數Z有關，其數學關系如下：
λ=K(Z? s) ?2
式中K和S是常數。
而根據量子理論，X射線可以看成由一種量子或光子組成的粒子流，每個光具有的能量為：
E=hν=h C/λ
式中，E為X射線光子的能量，單位為keV；h為普朗克常數；ν為光波的頻率；C為光速。
因此,只要測出熒光X射線的波長或者能量,就可以知道元素的種類，這就是熒光X射線定性分析的基礎。此外,熒光X射線的強度與相應元素的含量有一定的關系，據此，可以進行元素定量分析。

X熒光光譜分析在各行業應用范圍不斷拓展，已成為一種廣泛應用于冶金、地質、有色、建材、商檢、環保、衛生等各個領域，特別是在RoHS檢測領域應用得多也廣泛。
大多數分析元素均可用其進行分析，可分析固體、粉末、熔珠、液體等樣品，分析范圍為Be到U。并且具有分析速度快、測量范圍寬、干擾小的特點。